常州銀河世紀(jì)微電子股份有限公司是一家專注于半導(dǎo)體分立器件研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè)，具備IDM模式下的一體化經(jīng)營(yíng)能力。公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于計(jì)算機(jī)及周邊設(shè)備、家用電器、適配器及電源、網(wǎng)絡(luò)通信、汽車電子、工業(yè)控制等領(lǐng)域。公司于2021年1月27日在上交所上市。

          半導(dǎo)體行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為 “清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實(shí)上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量有機(jī)和無機(jī)物，包括許多有毒有害物質(zhì)，對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重，如不加以控制，將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。隨著國(guó)家對(duì)環(huán)保的重視，國(guó)家和地方相繼發(fā)布了半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)。

           半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣依據(jù)廢氣排放特性，可分為：一般排氣、酸性排氣、堿性排氣和有機(jī)排氣、針對(duì)不同的廢氣特性，處理的方法也不同。

常州銀河世紀(jì)微電子股份有限公司在生產(chǎn)中主要產(chǎn)生一些酸堿廢氣和Voc有機(jī)廢氣。對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)中產(chǎn)生的酸性堿性廢氣，由于處理原理基本相同，我們采用廢氣洗滌塔系統(tǒng)進(jìn)行處理。

廢氣在風(fēng)機(jī)引風(fēng)作用下，廢氣進(jìn)入第一級(jí)洗滌塔底層填料床，以低速進(jìn)入內(nèi)外夾套而成的均壓室內(nèi)，采用循環(huán)泵輸送，逆流式洗滌，將廢氣平均分布在 PP 特拉瑞帶刺花環(huán)填料層周圍，每只呈現(xiàn)點(diǎn)接觸，排列“Z 或 W”不規(guī)則路線行走，無偏流現(xiàn)象，再配合螺旋式高流量、不阻塞噴嘴，使氣液二相混合率達(dá) 97%以上，洗滌塔主要采用堿液（具體根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況）進(jìn)行中和吸收處理，如此在經(jīng)過單機(jī)或多級(jí)水洗滌塔后吸收后廢氣得到再次凈化，最終廢氣經(jīng)處理后達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)。

而對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)中產(chǎn)生的Voc有機(jī)廢氣，我們通常采用直接焚燒、有機(jī)活性炭吸附、生物氧化等方法進(jìn)行處理。對(duì)于濃度較高的有機(jī)廢氣，我們才建議直接焚燒，而濃度較低的有機(jī)廢氣，我們通常采用活性炭吸附的來處理。

此項(xiàng)目我們用活性炭纖維吸附的方法處理，其結(jié)構(gòu)及工作原理：凈化器分進(jìn)風(fēng)段、炭纖維過濾段和出風(fēng)段。過濾段由幾個(gè)到幾十個(gè)過濾筒組成，有機(jī)廢氣從進(jìn)風(fēng)段進(jìn)入箱體經(jīng)由濾筒吸附凈化，凈化后的空氣由通風(fēng)機(jī)排入大氣。

隨著中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放達(dá)標(biāo)及監(jiān)管任務(wù)繁重。有效控制半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)環(huán)境帶來的影響，促進(jìn)行業(yè)發(fā)展健康可持續(xù)發(fā)展，這是解決半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的重要問題。超日凈化希望能為半導(dǎo)體行業(yè)提供更多性價(jià)比高的廢氣處理技術(shù)，讓半導(dǎo)體行業(yè)有更多的技術(shù)選擇。